理研計(jì)器 Riken Keiki FPM-80A有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)的簡介

FPM-80A 多點(diǎn)紙帶式有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)（半導(dǎo)體晶圓廠旗艦機(jī)型）**

核心原理

化學(xué)紙帶法（紙帶比色）**：特制化學(xué)紙帶與目標(biāo)有毒氣體發(fā)生顯色反應(yīng)，光學(xué)讀取色斑深淺換算濃度；紙帶可留存，泄漏時(shí)保留物理證據(jù)，ppb 級(jí)超低濃度檢測，抗干擾強(qiáng)、誤報(bào)低。

關(guān)鍵規(guī)格

- 最大監(jiān)測點(diǎn)數(shù)：80 點(diǎn) / 臺(tái)

- 采樣方式：內(nèi)置泵吸式，每機(jī)架最多 8 個(gè)采樣點(diǎn)

- 單路采樣流量：2.5 L/min

- 最遠(yuǎn)采樣距離：120 米**，響應(yīng)＜1 分鐘

- 紙帶壽命：常規(guī)氣體最長**180 天**；NO?最長 60 天；帶 RFID 識(shí)別紙帶剩余壽命，更換僅需 1 分鐘，熱插拔式盒帶，不易卡帶RKI Instru...

- 人機(jī)界面：19 英寸觸控屏，顯示濃度、氣體名稱、紙帶余量、流量

- 通信：支持多種工業(yè)協(xié)議，可接入工廠上位系統(tǒng)

- 電源：AC100–240V，功耗 2.3kW

- 重量：約 400kg

- 環(huán)境條件：工作溫度 5～35℃，濕度 30～60% RH

- 管路：推薦 PTFE 管 φ6.35mm (1/4") 外徑

 可檢測氣體

配套超過 300 種化學(xué)紙帶，半導(dǎo)體常用：**HCl、HF、Cl?、NH?、NO?、H?S、光氣、磷化氫、砷化氫**等各類劇毒 / 腐蝕性工藝氣體

理研計(jì)器 Riken Keiki FPM-80A有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)的簡介

主要特點(diǎn)

1. ppb 級(jí)靈敏度**，專門針對(duì)半導(dǎo)體 fab 劇毒工藝氣體泄漏預(yù)警

2. 泵、電源、工控機(jī)支持**熱插拔維護(hù)**，停機(jī)時(shí)間短，適合連續(xù)生產(chǎn)工廠

3. 紙帶顯色可作為泄漏物證，區(qū)別于普通電化學(xué)傳感器

4. 支持氣體追蹤定位功能，遠(yuǎn)程查看各測點(diǎn)狀態(tài)RKI Instru...

 典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體晶圓制造、面板廠，VMB 柜、機(jī)臺(tái)、排風(fēng)管道有毒氣體多點(diǎn)泄漏在線監(jiān)測，是國內(nèi)晶圓廠常用的理研旗艦多點(diǎn)有毒氣體監(jiān)測系統(tǒng)