理研計(jì)器 RIKEN KEIKI GD?81D 系列泵吸式固定式氣體檢測(cè)儀的參數(shù)

半導(dǎo)體工廠專用，泵吸式固定式氣體檢測(cè)儀（非防爆）理研計(jì)器株...**

版本區(qū)分

- GD?81D：4?20mA 模擬輸出，2?3 線制，支持單傳感器，兼容 GD?70D 老款 U 傳感器理研計(jì)器株...

- GD?81D?ETD：Ethernet 以太網(wǎng)（支持 PoE 供電），支持 M 傳感器，**一臺(tái)最多同時(shí)檢測(cè) 2 種氣體**，Web 網(wǎng)頁遠(yuǎn)程訪問查看數(shù)據(jù)、事件日志RKI Instru...

核心規(guī)格

| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |

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| 采樣方式 | 內(nèi)置氣泵吸入式，流量約 **0.5?L/min**理研計(jì)器株... |

| 供電 | DC24V ±10%；ETD 額外支持 PoE 供電，禁止雙電源同時(shí)接入理研計(jì)器株... |

| 顯示 | 全點(diǎn)陣 LCD 背光，顯示氣體名稱、濃度、流量、報(bào)警狀態(tài)理研計(jì)器株... |

| 報(bào)警輸出 | ALM1（一級(jí)報(bào)警紅）、ALM2（二級(jí)報(bào)警紅）；FAULT 故障黃燈；繼電器觸點(diǎn)輸出理研計(jì)器株... |

| 報(bào)警模式 | 可燃 / 有毒：H?HH 高?高高兩段；氧氣：L?LL 低?低低兩段；可鎖存 / 自動(dòng)復(fù)位RIKEN KEIK... |

| 管路接口 | PTFE 特氟龍管，外徑 φ6× 內(nèi)徑 φ4，快插接頭 GAS?IN 進(jìn)氣 / GAS?OUT 出氣RKI Instru... |

| 尺寸重量 | 70 (W)×120 (H)×145 (D) mm，約 0.8?kgRIKEN KEIK... |

| 環(huán)境條件 | ?10～+40℃，濕度 5?90% RH 無凝露；**本體無防爆認(rèn)證**，不可用于防爆危險(xiǎn)區(qū)RIKEN KEIK... |

| 功耗 | GD?81D 約 1.5W（最大 4W）；ETD 約 2.5?6.5WRKI Instru... |

支持傳感器 & 檢測(cè)原理（可互換）理研計(jì)器株...

理研計(jì)器 RIKEN KEIKI GD?81D 系列泵吸式固定式氣體檢測(cè)儀的參數(shù)

| 傳感器型號(hào) | 原理 | 典型檢測(cè)對(duì)象 |

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| NCF/NCU | 接觸燃燒式 | 可燃?xì)怏w（甲烷、丙烷等） |

| SGF/SGU | 半導(dǎo)體式 | 有機(jī)溶劑蒸氣 |

| SHF/SHU | 熱線半導(dǎo)體 | 硅烷類、TEOS 等半導(dǎo)體特氣 |

| ESF/ESU | 恒電位電解 | NH?、HCl、Cl?、HF 等有毒氣體 |

| OSU | 隔膜原電池 | O?氧氣 |

| IRF/IRU | 紅外 | CO?、可燃?xì)怏w |

| SSU | 熱粒子化 | 部分熱分解類特殊氣體，需選配 PLU?80 熱解器 |

可測(cè)：氨氣、氯化氫、氯氣、、硅烷、TEOS、磷化氫、氧氣、二氧化碳、各類可燃溶劑蒸氣等半導(dǎo)體常用工藝氣體，支持 300 + 種傳感器兼容老 GD?70D 系列傳感器RKI Instru...。

主要功能

1. 雙組分檢測(cè)（ETD+M 傳感器）**：?jiǎn)闻_(tái)同時(shí)測(cè)兩種氣體，減少配管布線成本理研計(jì)器株...

2. 內(nèi)置日志：報(bào)警歷史、事件記錄、零點(diǎn) / 靈敏度校正記錄可查看導(dǎo)出RKI Instru...

3. 自診斷：流量異常、傳感器故障、硬件故障觸發(fā) FAULT 報(bào)警RIKEN KEIK...

4. 報(bào)警抑制、報(bào)警延時(shí)、零點(diǎn)跟隨功能；支持外接熱分解單元 PLU?80 處理難直接檢測(cè)氣體理研計(jì)器株...

典型應(yīng)用

- 半導(dǎo)體、面板廠工藝間、氣瓶柜、排氣管道，工藝氣體泄漏監(jiān)測(cè)

- 潔凈廠房、化學(xué)品柜，有毒 / 可燃?xì)怏w定點(diǎn)泵吸監(jiān)測(cè)

??注意：整機(jī)非防爆結(jié)構(gòu)，只能安裝在安全非爆炸區(qū)域；采樣管路必須用 PTFE 耐腐管，避免吸附腐蝕氣體。