
半導體工廠專用 泵吸式單點固定式氣體檢測器(GD70D 升級款)**理研計器株...
基礎規格
- 采樣方式:內置泵吸式,流量固定 0.5 L/min,PTFE 快插接口 φ6×φ4mm
- 外形尺寸:70 (W) ×120 (H) ×145 (D) mm,重量約 0.8kg,壁掛安裝
- 供電:DC24V ±10%
- 通信版本
- GD-81D:4-20mA 模擬量輸出**,繼電器報警觸點
- GD-81D-ETD:Ethernet 網口,支持 PoE 供電,Web 網頁訪問**RKI Instru...
- 屏幕:全點陣 LCD,可顯示氣體名稱、實時濃度、采樣流量、報警 / 故障信息
- 報警:**兩段報警 ALM1(一級)、ALM2(二級)**;故障 FAULT 黃燈,支持自鎖 / 自動復位
- 自診斷:傳感器異常、泵流量不足、通訊故障、熱解器故障檢測RKI Instru...
傳感器體系(可插拔智能傳感器單元,兼容老款 GD70D 傳感器)
一臺主機**最多支持 2 個傳感器,同時檢測 2 種氣體(2in1)**,節省管路成本RKI Instru...
理研計器GD-81D泵吸式單點固定式氣體檢測器的參數
| 傳感器型號 | 檢測原理 | 典型檢測氣體 |
| --- | --- | --- |
| NCU/NCF | 接觸燃燒式 | 可燃氣體 CH?、H?、IPA 等 |
| ESU/ESF | 恒電位電解 | HCl、Cl?、NH?、H?S、CO 等有毒氣體 |
| OSU | 隔膜伽伐尼電池 | O?氧氣 |
| IRU/IRF | 紅外 NDIR | CO?、制冷劑 |
| SSU | 熱粒子化(搭配 PLU-80 熱解器) | TEOS、TMA、硅烷類等高溫分解氣體 |
| SGU/SGF、SHU/SHF | 半導體 / 熱線半導體 | VOC 類 |
選配 PLU-80 熱解單元,可檢測有機金屬、硅烷類難直接檢測的半導體工藝氣體RKI Instru...
核心特點
1. 一機雙測:單臺檢測器內置兩路傳感器,同時監測兩種氣體,減少點位數量
2. 模塊化免工具維護:泵、傳感器單元前側插拔更換,無需拆機,傳感器自帶校準記憶
3. 低噪長壽命采樣泵;主機內部無管路,減少泄漏隱患
4. 豐富輸出:4-20mA / 網口 + Web / 繼電器干接點,方便接入工廠 FAB 監控系統
5. 適配半導體 FAB、VMB 柜、機臺周邊、化學品柜氣體泄漏監測場景
6. 非防爆型,潔凈室內使用(和 FPM-80A 是搭配使用:FPM80A 是多點點紙帶系統,GD81D 是單點泵吸傳感器)
和 FPM-80A 簡單對比(你前面問的機型)
- GD-81D:單點 / 雙點、電化學 / 紅外 / 熱粒子傳感器;ppm 級,獨立壁掛探測器;適合常規毒氣、可燃、氧氣;無紙質物證。
- FPM-80A:一臺主機最多 80 個采樣點,化學紙帶法;ppb 超高靈敏度;專門針對微量劇毒腐蝕氣體;紙帶留存泄漏物證,成本更高。
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