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| 品牌 | RIKEN/日本理研 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
日本理研多點紙帶式有毒氣體在線監測系統
Riken Keiki FPM-80A
FPM-80A 多點紙帶式有毒氣體在線監測系統（半導體晶圓廠旗艦機型）**
核心原理
化學紙帶法（紙帶比色）**：特制化學紙帶與目標有毒氣體發生顯色反應，光學讀取色斑深淺換算濃度；紙帶可留存，泄漏時保留物理證據，ppb 級超低濃度檢測，抗干擾強、誤報低。
關鍵規格
- 最大監測點數：80 點 / 臺
- 采樣方式：內置泵吸式，每機架最多 8 個采樣點
- 單路采樣流量：2.5 L/min
- 最遠采樣距離：120 米**，響應＜1 分鐘
- 紙帶壽命：常規氣體最長**180 天**；NO?最長 60 天；帶 RFID 識別紙帶剩余壽命，更換僅需 1 分鐘，熱插拔式盒帶，不易卡帶RKI Instru...
- 人機界面：19 英寸觸控屏，顯示濃度、氣體名稱、紙帶余量、流量
- 通信：支持多種工業協議，可接入工廠上位系統
- 電源：AC100–240V，功耗 2.3kW
- 重量：約 400kg
- 環境條件：工作溫度 5～35℃，濕度 30～60% RH
- 管路：推薦 PTFE 管 φ6.35mm (1/4") 外徑
可檢測氣體
配套超過 300 種化學紙帶，半導體常用：**HCl、HF、Cl?、NH?、NO?、H?S、光氣、磷化氫、砷化氫**等各類劇毒 / 腐蝕性工藝氣體
日本理研多點紙帶式有毒氣體在線監測系統
主要特點
1. ppb 級靈敏度，專門針對半導體 fab 劇毒工藝氣體泄漏預警
2. 泵、電源、工控機支持**熱插拔維護**，停機時間短，適合連續生產工廠
3. 紙帶顯色可作為泄漏物證，區別于普通電化學傳感器
4. 支持氣體追蹤定位功能，遠程查看各測點狀態RKI Instru...
典型應用場景
半導體晶圓制造、面板廠，VMB 柜、機臺、排風管道有毒氣體多點泄漏在線監測，是國內晶圓廠常用的理研旗艦多點有毒氣體監測系統
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