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| 品牌 | RIKEN/日本理研 | 應用領域 | 綜合 |
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日本理研計器泵吸式固定式氣體傳感器
半導體工廠專用，泵吸式固定式氣體檢測儀（非防爆）理研計器株...**
版本區分
- GD?81D：4?20mA 模擬輸出，2?3 線制，支持單傳感器，兼容 GD?70D 老款 U 傳感器理研計器株...
- GD?81D?ETD：Ethernet 以太網（支持 PoE 供電），支持 M 傳感器，**一臺最多同時檢測 2 種氣體**，Web 網頁遠程訪問查看數據、事件日志RKI Instru...
核心規格
| 項目 | 參數 |
| --- | --- |
| 采樣方式 | 內置氣泵吸入式，流量約 **0.5?L/min**理研計器株... |
| 供電 | DC24V ±10%；ETD 額外支持 PoE 供電，禁止雙電源同時接入理研計器株... |
| 顯示 | 全點陣 LCD 背光，顯示氣體名稱、濃度、流量、報警狀態理研計器株... |
| 報警輸出 | ALM1（一級報警紅）、ALM2（二級報警紅）；FAULT 故障黃燈；繼電器觸點輸出理研計器株... |
| 報警模式 | 可燃 / 有毒：H?HH 高?高高兩段；氧氣：L?LL 低?低低兩段；可鎖存 / 自動復位RIKEN KEIK... |
| 管路接口 | PTFE 特氟龍管，外徑 φ6× 內徑 φ4，快插接頭 GAS?IN 進氣 / GAS?OUT 出氣RKI Instru... |
| 尺寸重量 | 70 (W)×120 (H)×145 (D) mm，約 0.8?kgRIKEN KEIK... |
| 環境條件 | ?10～+40℃，濕度 5?90% RH 無凝露；**本體無防爆認證**，不可用于防爆危險區RIKEN KEIK... |
| 功耗 | GD?81D 約 1.5W（最大 4W）；ETD 約 2.5?6.5WRKI Instru... |
支持傳感器 & 檢測原理（可互換）理研計器株...
日本理研計器泵吸式固定式氣體傳感器
| 傳感器型號 | 原理 | 典型檢測對象 |
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| NCF/NCU | 接觸燃燒式 | 可燃氣體（甲烷、丙烷等） |
| SGF/SGU | 半導體式 | 有機溶劑蒸氣 |
| SHF/SHU | 熱線半導體 | 硅烷類、TEOS 等半導體特氣 |
| ESF/ESU | 恒電位電解 | NH?、HCl、Cl?、HF 等有毒氣體 |
| OSU | 隔膜原電池 | O?氧氣 |
| IRF/IRU | 紅外 | CO?、可燃氣體 |
| SSU | 熱粒子化 | 部分熱分解類特殊氣體，需選配 PLU?80 熱解器 |
可測：氨氣、氯化氫、氯氣、、硅烷、TEOS、磷化氫、氧氣、二氧化碳、各類可燃溶劑蒸氣等半導體常用工藝氣體，支持 300 + 種傳感器兼容老 GD?70D 系列傳感器RKI Instru...。
主要功能
1. 雙組分檢測（ETD+M 傳感器）**：單臺同時測兩種氣體，減少配管布線成本理研計器株...
2. 內置日志：報警歷史、事件記錄、零點 / 靈敏度校正記錄可查看導出RKI Instru...
3. 自診斷：流量異常、傳感器故障、硬件故障觸發 FAULT 報警RIKEN KEIK...
4. 報警抑制、報警延時、零點跟隨功能；支持外接熱分解單元 PLU?80 處理難直接檢測氣體理研計器株...
典型應用
- 半導體、面板廠工藝間、氣瓶柜、排氣管道，工藝氣體泄漏監測
- 潔凈廠房、化學品柜，有毒 / 可燃氣體定點泵吸監測
??注意：整機非防爆結構，只能安裝在安全非爆炸區域；采樣管路必須用 PTFE 耐腐管，避免吸附腐蝕氣體。
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